而DUV光刻機(jī)，主要采用的是193nm的光源，理論上可以經(jīng)多重曝光后用到7nm，但實(shí)際沒有廠商這么干，因?yàn)槎嘀仄毓饬悸蚀蠓冉档?，成本非常高，且不可控?/p>

　　而EUV光刻機(jī)，只有ASML一家廠商能生產(chǎn)，所以任何芯片廠商，想要生產(chǎn)7nm及以下的芯片，就得找ASML買光刻機(jī)。

　　而ASML在2015年推出第一代EUV光刻機(jī)WINSCAN NXE:3400B之后，就一直是各大想生產(chǎn)7nm及以下芯片廠商爭搶的對象。特別是臺積電、三星、Intel這三大廠商，誰能最先、最快、最多買到EUV光刻機(jī)，誰就有了優(yōu)勢和底氣。

　　之前中芯國際在2018年也找ASML訂購了一臺EUV光刻機(jī)，不過4年過去了，依然沒拿到貨，因?yàn)槊绹辉试SASML賣EUV光刻機(jī)給我們。

　　而在這4年之中，ASML的EUV光刻機(jī)也升級了2代，2019年從NXE:3400B升級到NXE:3400C，再2021年升級為NXE:3600D，這三代光刻機(jī)的數(shù)值孔徑為0.33，提升的更多是處理速度上面。

　　而現(xiàn)在ASML再次推出新一代EUV光刻機(jī)，這次將數(shù)值孔徑提升到了0.55，而型號有兩種，分別是EXE:5000和EXE:5200，相比于上一代EUV光刻機(jī)，可以將芯片縮小1.7倍、同時密度增加2.9倍，全面支持2nm及以下芯片，乃至埃米級工藝節(jié)點(diǎn)。

　　按照ASML的說法，目前intel已經(jīng)簽訂了一筆EXE:5200的訂單，而EXE:5200系統(tǒng)的成本將顯著超過3.4億美元(約22億人民幣)。

　　intel為何搶先下訂單，當(dāng)然是想在2nm芯片的爭霸賽中占到先機(jī)，更希望能夠比臺積電、三星更領(lǐng)先，畢竟英特爾一直表示要重新提振美國的芯片制造業(yè)。

　　這22億元的價(jià)格，估計(jì)也就只有intel、三星、臺積電買得起了吧，其它的代工廠，估計(jì)都難得買得起了，真的是太貴了。